По сравнению с другими керамическими материалами керамические материалы из нитрида кремния имеют очевидные преимущества. Особенно в условиях высоких температур керамические материалы из нитрида кремния демонстрируют такие механические свойства, как стойкость к высоким температурам, химическая инертность по отношению к металлам, сверхвысокая твердость и вязкость разрушения.
Можно сделать вывод, что прочность на изгиб и трещиностойкость керамики из нитрида кремния может достигать более чем в 2 раза по сравнению с нитридом алюминия. Керамика из нитрида кремния, особенно в отношении надежности материалов, обладает несравненными преимуществами по сравнению с двумя другими.
Керамика из нитрида кремния имеет структуру микропрочной ковалентной связи, а механизм теплопередачи представляет собой фононный теплообмен. Спекание керамики из нитрида кремния имеет сложную структуру, а рассеяние фононов велико, поэтому теплопроводность обычно используемых конструктивных деталей из нитрида кремния низкая.
Однако за счет разработки рецептуры и оптимизации процесса спекания текущая теплопроводность керамики из нитрида кремния с высокой теплопроводностью может достигать 80-100 Вт/(м·К) без потери механических свойств. С точки зрения теплопроводности кажется, что между керамикой из нитрида кремния и керамикой из нитрида алюминия все еще существует разрыв.
Однако керамические подложки используются в виде керамических ламинатов, плакированных медью, в корпусах полупроводников. Превосходные механические свойства керамических подложек из нитрида кремния позволяют покрывать их более толстой металлической медью. Кроме того, керамический ламинат из нитрида кремния, плакированный медью, также имеет лучшую амперную емкость. Видно, что керамика из нитрида кремния представляет собой полупроводниковый изолирующий материал подложки, который сочетает в себе наилучшее тепловыделение, надежность и электрические свойства, а перспективы применения в будущем очень широки. Подложка из нитрида кремния, разработанная и произведенная компанией Taisheng, скоро будет запущена в производство, так что следите за новостями.
